据。
为了让机器内部的温度变化控制在千分之五度,要做一套非常先进的冷却散热系统。
这要求还不是最变态的,最变态的是什么?
光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片。
两者必须始终同步,误差在2纳米以下。
两个工作台由静到动,加速度就像是导弹发射。
这么说可能没什么概念,形象点说。
它的难度就相当于两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,要做到丝毫不差。
知道为什么光刻机被誉为世界上精度最高,最难做的仪器了吧?!
变态,苛刻,不可理喻!
今天我们人类可以用上智能手机,背后包含了多少人类的智慧和尖端科技?
最后一关是最难的,它需要极致的机械精度,在国内根本找不到这样的设备生产。
陈耀带领团队费尽了周折,失败了多次,有队员甚至感到沮丧,差点退出。
情况比预想中的还要艰难,这种机器不像是人类应该造出来的。
那段时间,是陈耀最繁忙的日子,像个陀螺一样在实验室、工厂,学院转来转去。
一边要培养人才,一边要参与到项目的研发,设计,测试,甚至亲自上阵在生产一线当工人。
好在,最艰难时期终于过去!
陈耀和微观精龙团队成功突破最后一道难关!
到此,光刻机所有的核心零部件统统实现国产化!
这是个了不起的成就!
接下来就是组装,团队找来了衷芯国际一起完成最后的组装。
光刻机的销售对象是芯片代工厂,衷芯国际作为国内最好的芯片代工厂,光刻机的组装必定要跟他们合作。
这么做还有一个好处,可以让他们的技术员尽快掌握光刻机的操作。
有好机器是一方面,操作得好不好又是另一方面。
没有高素质的人才,这种黑科技机器根本操控不了,工人一丝一毫的偏差,都会导致芯片的生产失败。
早上,陈耀乘坐飞机来到了衷芯国际位于中海的芯片工厂。
这里是全国最大的晶圆厂,在世界也能排进前四。
只是跟前面的三巨头差距特别大,前面的是英特尔、三星和抬积电。
其实从芯片代工的技术来说,衷芯国际并不比巨头落后多少,关键是被米国掐脖子了,订购阿斯麦的光刻机,3年都没有发货。
陈耀刚走进厂房,激动人心的消息就传来了。
华天微电子研发的精龙光刻机成功通过测试!
可以用作5n的芯片制成!
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