究上做出过重大贡献,也几乎快是这次所有项目研发人员中最具资历的。
所以他也是表现的非常尊重,连忙开口为其解答道:“激光器确实是整个光刻机的核心部件,但我有把握获得波长最短的极紫外光源,所以两个助手暂时足够了。”
“把更多的人员安排在其它部件的研究上,能够有效提升研发的效率。”
在徐磊的安排中。
由他主要负责激光器光源和光刻胶的问题。
控制软件则让星瞳辅助开发。
至于物镜系统和复合材料等部件,则需要在现有的基础上升级优化,所以他把大部分研发人员都安排在了这个地方。
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